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机械扫描装置1884年，德国工程师尼普科夫(Paul Gottlieb Nipkow)利用硒光电池发明了一种机械扫描装置，这种装置在后来的早期电视系统中得到了应用，到1939年机械扫描系统被淘汰。虽然跟后来100多年后利用计算机来操作的扫描仪没有必然的联系，但从历史的角度来说这算是人类历史上早使用的扫描技术。
手持式扫描仪诞生于1987年，扫描幅面窄，难于操作和捕获图像，扫描效果也差。1996年后，各扫描仪厂家相继停产，从此手持式扫描仪销声匿迹。到2002年，随着CIS技术的不断成熟，3R集团在市面上推出了Planon（普蓝诺）型号为RC800手持式扫描仪，其能扫描A4幅度，扫描分辨率300DPI，其是当时扫描仪市场上的大亮点。
成像技术的不同，滚筒式扫描仪的成像技术又被称为“电子分色”，与大幅面扫描仪的成像技术不同，相比来讲，滚筒扫描仪的精度更高，成像效果更好，但价格昂贵，适用性不强。按照可扫描幅宽进行的分类；滚筒式是按照扫描进纸方式进行的区分；也就是说，滚筒式有可能被当做大幅面扫描仪被使用，但大幅面的并不一定是滚筒式扫描仪。
大幅面扫描仪是一种计算机外围输入设备，与我们普通家用（商用）扫描仪大的区别是扫描幅面的宽度、长度及精度、影像质量方面不同。通常我们将扫描幅面大于A3幅面的(29.7CMx42CM）的扫描仪统称为大幅面扫描仪。
CIS是英文Contact Image Sensor的缩写，中文译名即“接触式图像传感器”。CIS是由光源系统和感光系统的单件构成的集成模块。CIS在感光系统中没有滤色装置，因此色彩表现力及过渡色等方面远远低于CCD成像技术。
所谓平板式扫描仪就是和家用（商用）扫描仪一样，将介质平放于扫描仪图像采集的大面积光学玻璃上，图纸处于静止状态，采集图像的CCD（或CIS）在固定的轨道内进行移动，采集必要的数据信息。这种走纸方式的大优点是对介质不会造成任何损伤。典型的应用是扫描具有文物价值的资料或具有文物价值的易碎图档。
